Das Fraunhofer ENAS stellt auf der SENSOR+TEST in Nürnberg Forschungsergebnisse für die Herstellung und Anwendung von Aluminium-Nitrid-Schichten vor
Piezoelektrische Mikrosysteme mit Aluminiumnitrid (AlN) werden am Fraunhofer ENAS seit einigen Jahren entwickelt. Diese Mikrosysteme besitzen eine hohe Energiedichte, was eine starke Miniaturisierung der Systeme ermöglicht. Damit können Energieverbrauch... weiterlesen →